系統(tǒng)：

◆測量功能：精密測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面形貌及特性

◆測量方法：激光3維相移干涉法

◆測量功能：精密測量各種不同反射面或光學面的形貌及特性

◆測量光束直徑：4″(102 mm)和6″(152 mm)

◆配置：水平式,立式向下或立式向上

◆光學中心線 ：4.25″(108 mm)

◆對準系統(tǒng) ：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)

◆放大范圍： 6:1（非連續(xù)式放大，低失真）

◆調整可視范圍：4″: ±3° 6″: ±2 °

◆光曈調焦范圍：-800 mm/+1600 mm， 4″孔徑

◆樣件觀察：計算機實時顯示/單獨監(jiān)視器

◆計算機： DELL PC；配有硬盤，光驅，17英寸液晶彩顯,可選配打印機

◆軟件： Microsoft?? Windows XP專業(yè)版下運行的ZYGO MetroProTM 軟件

◆尺寸(高x寬x長)：水平式4″: 308 x 694 x 308 mm，水平式6″: 308 x 992 x 308 mm，立式: H x 686x686 mm

激光：

◆類型： II 級 氦-氖激光

◆波長： 632.8 nm

◆通光孔徑輸出功率：≤ 1 mw

◆光束偏振態(tài) ：圓偏振，可選線偏振開關

◆相干長度： ＞100 m

樣件特性：

◆材質 ：各種不同的玻璃、超精加工金屬、陶和塑料

◆預處理 ：無需特殊處理，非接觸、非破壞性測量，在現(xiàn)場環(huán)境中操作。

◆樣件大小(高x寬x長)：254 x 203 x 203 mm （帶2軸調整架）

◆樣件重量： ≤22.7 Kg （帶2 軸調整架）

◆反射率 ：0.1% - 99%

性能參數(shù)：

◆3平板測量重復性：λ/300 (2σ )

◆RMS 重復性：2 λ/10,000 (2σ)

◆數(shù)據(jù)采樣： 640x480 像素,8位，可選：1K x 1K像素

◆分辨率： >λ/8,000

◆條紋分辨率：180條紋

◆數(shù)據(jù)采樣時間：低分辨率(7幅數(shù)據(jù)圖像):93 ms，高分辨率(13幅數(shù)據(jù)圖像):173 ms

環(huán)境要求：

◆溫度 ：15°C-30°C(60°F-95°F)

◆溫度變化率： <1.0°C/15min

◆濕度 ：相對濕度5% - 95% , 無凝結

◆防震： 需要隔離1-120Hz的震動