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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司

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印刷設(shè)備

印前設(shè)備印刷機(jī)械印后設(shè)備裝訂設(shè)備廣告設(shè)備辦公設(shè)備印刷機(jī)械配件其它印刷相關(guān)器材其它印刷設(shè)備

印刷耗材

油墨版材化學(xué)品印刷用紙其它印刷耗材

印刷服務(wù)

防偽技術(shù)產(chǎn)品其它印刷服務(wù)

包裝設(shè)備

包裝機(jī)械包裝生產(chǎn)設(shè)備灌裝機(jī)械封口機(jī) 纏繞機(jī) 打包機(jī) 標(biāo)簽機(jī) 其它包裝機(jī)械

包裝材料

塑料包裝材料金屬包裝材料紙包裝材料布類包裝材料燙金燙印包裝材料泡沫包裝材料其它包裝材料

包裝制品

包裝容器塑料包裝紙類包裝布類包裝袋物流包裝行業(yè)包裝袋金屬包裝容器包裝輔材其它包裝制品

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備料設(shè)備制漿設(shè)備廢紙制漿設(shè)備造紙?jiān)O(shè)備紙品加工設(shè)備造紙輔助設(shè)備造紙環(huán)保設(shè)備其它造紙機(jī)械

儀器儀表

分析儀器物性測試儀器光學(xué)儀器測量計(jì)量儀器生命科學(xué)儀器環(huán)境儀器實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備行業(yè)專用儀器儀器配件|耗材儀表其它儀器儀表

通用設(shè)備

計(jì)量衡器風(fēng)機(jī) 切割設(shè)備倉儲(chǔ)搬運(yùn)設(shè)備換熱設(shè)備空氣凈化設(shè)備傳感器制冷設(shè)備干燥設(shè)備清洗設(shè)備輸送設(shè)備自動(dòng)化控制泵閥門電機(jī)

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皮秒激光劃片設(shè)備

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更新時(shí)間：2023-09-21 09:58:26瀏覽次數(shù)：499次

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  專用設(shè)備

半導(dǎo)體行業(yè)專業(yè)設(shè)備

檢測設(shè)備

電子電路行業(yè)專業(yè)設(shè)備

新能源設(shè)備

智能生產(chǎn)線

脆性材料加工設(shè)備

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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司

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產(chǎn)品簡介

采用紫外皮秒激光器，針對(duì)硅和化合物半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行精密半切或全切。切割線寬 ≤20±5μm（含HAZ）崩邊 ≤10μm 整機(jī)尺寸 (mm) 1500*1700*2000

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢

01

加工質(zhì)量高

切割線寬窄（以紫外準(zhǔn)直為例，切割線寬 +HAZ≤20±5μm），崩邊?。ā?0μm）
02

加工效率高

UPH≥10 （紫外振鏡：以3英寸雙臺(tái)面硅二極管晶圓為例，含自動(dòng)對(duì)位時(shí)間）
03

加工穩(wěn)定性好

激光器脈沖穩(wěn)定性高（≤2% rms），光束質(zhì)量高（ M2≤1.2)

技術(shù)參數(shù)

內(nèi)容		主要技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào)		LUD3200	LUD3210
激光器參數(shù)	中心波長	~355nm	~355nm
激光器參數(shù)	加工頭	激光掃描頭	激光準(zhǔn)直頭
加工性能	有效工作行程	200x300mm(選配)、 DD馬達(dá)	200x300mm(選配)、 DD馬達(dá)
	重復(fù)定位精度	±2μm 、 ± 5arc sec	±2μm 、 ± 5arc sec
	視覺定位	正面定位、正面切割	正面定位、正面切割
	劃線線寬	≤30± 5 μm	≤20± 5 μm
其他	供電規(guī)格	220V/50Hz/3 .5 kW	220V/50Hz/3 .5 kW
	整機(jī)尺寸	1500mm1700mm2000mm	1500mm1700mm2000mm
	設(shè)備重量	1500 Kg	1500 Kg

樣品展示

切割正面--3英寸雙臺(tái)面二極管晶圓激光全切（背面貼膜），晶粒尺寸300*300μm，晶圓厚度130μm，切割溝道厚度30μm

切割背面--3英寸雙臺(tái)面二極管晶圓激光全切（背面貼膜），晶粒尺寸300*300μm，晶圓厚度130μm，切割溝道厚度30μm

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