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武漢泰和豐順光電有限公司


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加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計

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更新時間：2023-10-20 11:01:53瀏覽次數(shù)：245次

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產(chǎn)品簡介

加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計 加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計高溫應(yīng)用性能良好

詳細(xì)介紹

益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
  • 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點
  • 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
  • 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命
  • 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
  • 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
  • 需要真空計保護(hù)的一般薄膜和真空過程

規(guī)格

類型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.4
溫度效應(yīng)      
零點 percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
滿量程 % of reading / °C 0.02 0.02 0.02
壓力， kPa (absolute) 400 260 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5
溫度      
運行（周圍環(huán)境）（5） °C +10 … +50    
在法蘭處烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –20 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗      
加熱時 W ≤20 ≤15 ≤15
運行溫度 W ≤14 ≤10 ≤10
輸出信號（模擬） V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時間 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
保護(hù)等級 IP 40 IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)      
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) (5) SEMI S2    
加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計     

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