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RTP-1200快速退火爐

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品       牌

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品概要： 韓國(guó)Ecopia公司生產(chǎn)，樣品尺寸：15mm X 20mm。RTP-1200特點(diǎn)：使用單相電，普通照明電即可使用；風(fēng)冷設(shè)計(jì)、無(wú)須采購(gòu)冷水機(jī)；真空退火，可以使用氫氮混合氣(

詳細(xì)介紹

RTP-1200小型快速退火爐(RTP/RTA)為韓國(guó)進(jìn)口的快速退火爐。
該儀器：尺寸小巧，使用風(fēng)冷、無(wú)須水冷，電流要求不高(3安培)，性價(jià)比高，使用方便，非常適合科研院所的科研使用。

技術(shù)規(guī)格：
  - 加熱方式：紅外鹵素?zé)簦?00W；
  - 紅外燈數(shù)量：4支；
  - 升溫速率：100℃/秒；
  - 降溫速率：50秒(1000℃ → 400℃)；
  - 溫度：1200℃；
  - 溫度精度：+/-0.3℃
  - 樣品尺寸：15 x 20mm；
  - 退火環(huán)境：真空、惰性氣體、空氣、其他工藝氣氛(如氧氣、氫氮混合氣等)；
  - 真空泵及極限壓力：機(jī)械泵，10-3Torr水平(選配)；
  - 電壓：220 V，單相；
  - 儀器尺寸：400*300*450mm (W*D*H)；
  - 質(zhì)量：凈重30Kg；

 

儀器特點(diǎn)：

  • 可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理；
  • 溫控精度高；
  • 無(wú)須配置冷水機(jī)；
  • 無(wú)須使用三相電，普通實(shí)驗(yàn)室單相電即可使用；
  • 緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)；
  • 儀器操作方便，樣片裝取容易；
  • 適合高?；蜓芯克蒲惺褂?；
  • 價(jià)格合理，高性價(jià)比；
  •  

應(yīng)用領(lǐng)域：

  • 快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing, RTA);
  • 快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation, RTO);
  • 快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation, RTN);
  • 硅化 (Silicidation);
  • 擴(kuò)散 (Diffusion);
  • 化合物半導(dǎo)體退火 (Compound Semiconductor Annealing);
  • 離子注入后退火 (Implant Annealing);
  • 電極合金化 (Contact Alloying);
  • 晶體化和致密化 (Crystallization and Densification);
  • 合金熔點(diǎn)分析；
  • 薄膜沉積；
  • 等等…

 

參考用戶：
北京大學(xué)、南京大學(xué)、吉林大學(xué)、湖南大學(xué)、廣西大學(xué)、齊齊哈爾大學(xué)、西北大學(xué)、中科院北京納米所、中科院蘇州納米所、蘇州EST等。

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