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行業(yè)產(chǎn)品

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Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SV50 / SV200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2023-10-30 11:03:27瀏覽次數(shù):308次

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產(chǎn)品簡介

Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀具備透光材料內(nèi)應(yīng)力分布測(cè)量及缺陷篩查等檢測(cè)功能。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢(shì)

基于雙折射應(yīng)力測(cè)量模型實(shí)現(xiàn)應(yīng)力瞬時(shí)測(cè)量,顯示應(yīng)力二維分布偽彩圖
采用雙遠(yuǎn)心檢測(cè)光路,相位延遲測(cè)量精度高
根據(jù)不同測(cè)量視場(chǎng)要求,多種鏡頭可選
訂制化樣品托盤,適應(yīng)不同規(guī)格晶圓批量測(cè)試


適用對(duì)象

適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學(xué)元件(平晶,棱鏡,波片,透鏡等)的內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)


適用領(lǐng)域
面向化合物晶圓生產(chǎn)、光學(xué)精密加工等行業(yè)


檢測(cè)原理
基于偏振光應(yīng)力雙折射效應(yīng)檢測(cè)晶圓材料內(nèi)部應(yīng)力分布。當(dāng)晶體材料由于內(nèi)部缺陷存在應(yīng)力集中時(shí)會(huì)導(dǎo)致應(yīng)力雙折射效應(yīng),偏振光透過它時(shí)會(huì)發(fā)生偏振態(tài)調(diào)制,通過測(cè)量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的應(yīng)力延遲量,從而得到材料內(nèi)應(yīng)力分布
可同步集成晶圓表面缺陷暗場(chǎng)檢測(cè)和尺寸量測(cè)


實(shí)測(cè)案例

Strain Viewer技術(shù)規(guī)格




瑞霏光電內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀將全口徑延遲、應(yīng)力方位角等分析整合進(jìn)入一鍵測(cè)量,確??蛻裟芸焖俅_認(rèn)工藝。

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